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软件全称： 200毫米SEMI工厂自动化标准软件
软件简称： FabAuto-200
版本号： V1.0
著作权人（国籍）： 睿励科学仪器（上海）有限公司:中国
登记号： 2012SR035810
分类号： 30208-4000 / 工业控制 - 通信设备、计算机及其他电子设备制造业
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