软件全称: 基于数字图像的xMO光掩模最优化软件
软件简称: xMO数字图像最优化软件
版本号: V1.0
著作权人(国籍): 东方晶源微电子科技(北京)有限公司:中国
登记号: 2015SR138520
分类号: 30108-3600 / 辅助设计与辅助制造(CAD/CAM)软件 - 专用设备制造业
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