软件全称: 集成电路生产线搬运系统日志与报警查看软件
软件简称: 日志报警查看软件
版本号: V1.0
著作权人(国籍): 中国科学院沈阳自动化研究所:中国
登记号: 2013SR140450
分类号: 30208-3600 / 工业控制 - 专用设备制造业
首次发表日期: 2013-06-03
登记批准日期: 2013-12-06
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