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软件全称： IC装备气路管理软件
软件简称： SIA_GasBox_Software
版本号： V1.0
著作权人（国籍）： 中国科学院沈阳自动化研究所:中国
登记号： 2013SR102923
分类号： 10000-0000 / 基础软件 - 通用
首次发表日期： 2012-05-10
登记批准日期： 2013-09-18
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