软件全称: KingSEMI湿法刻蚀(湿刻)系统操作软件
软件简称: KSE
版本号: V1.0
著作权人(国籍): 沈阳芯源微电子设备有限公司:中国
登记号: 2017SR398789
分类号: 30200-0000 / 行业应用软件 - 通用
首次发表日期: 2012-10-20
登记批准日期: 2017-07-26
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